NMS_proiectul
Cercetari privind nanometrologia microsistemelor
(proiect nr. 3)
Cercetari privind nanometrologia microsistemelor
(proiect nr. 3)
Perioada proiectului: 2005-2008
- Parteneri:
- (Coordonator) Institutul National pentru Fizica Laserilor, Plasmei si Radiatiei (INFLPR)
- (Partener) Centrul de Microscopie, Microanaliza si Procesarea Informatiei, Universitatea Politehnica Bucuresti (CMMPI)
- (Partener) Centrul de Cercetari pentru Optoelectronica, Universitatea Politehnica Bucuresti (CCO)
- (Partener) Institutul National de Microtehnologii (IMT)
- (Partener) Centrul de Biomateriale, Universitatea Politehnica Bucuresti (BIOMAT
- (Partener) Centrul de Metrologie si Ingineria Masurarii , Universitatea Politehnica Bucuresti (CMIM)
- (Partener) Institutul National de Biologie (INSB)
Proiectul isi propune sa realizeze elemente optice structurate diffractive (optical encoder) cu unul sau doua dimensiuni care sa fie masurate cu interferometrul cu laser si care introduse in campul aparatelor de observare sa etaloneze metrologic, deci cu referire directa la etalonul de lungime, sistemul proproiu de masura al aparatului de investigare. Elementele de scalare submicronice se obtin prin mijloacele litografiei interferentiale. In cazul unor pattern-uri mai complicate, se proiecteza si se realizeaza elemente optice diffractive de mare complexitate care proiectate prin difractie laser pot sa produca patter-ul necesar. Bio-nano-ingineria va cauta obtinerea de elemente naturale compatibile cu codoarele optice, realizate prin tehnologii nano-biologice down-up, care se vor implementa in sistemele de nanomasurari.
- Obiectivele specifice proiectului:
- Identificarea problemelor de realizare a standardelor pentru masurarea nano, nevoilor de masura si precizie a dispozitivelor si bio-sistemelor si a limitelor instrumentelor celor mai avansate care se folsesc in mod curent.
- Stabilirea caracteristicilor necesare unui element de etalonare pentru implementarea unui sistem de masura in sistemele de investigare de mare marire (microscoape) pentru elaborarea metodei de laborator pentru pentru realizarea acestuia.
- Tehnologia de realizare trebuie sa se orienteze dupa instrumentele si aparatele existente in tara. Deasemeni trebuie ca obiectul final ME sa fie compatibil cu toate aparatele pe care le avem in vedere.
- Caracterizarea preciziei si cauzelor de eroare in realizarea ME, caracterizarea preciziei de masura ale ME si studiul implementarii pe aparatele de investigare ale partenerilor.
- Demonstrarea functionalitatii ME – obiectiv final obligatoriu. Demonstrarea functionalitatii participantilor la proiect ca o retea de cercetare prin nificarea metodelor si preciziei de masura in prezentarea rezultatelor.

